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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] ITO 靶制备 已有2人参与

请教:用于磁控溅射的ITO靶,是否只能用绑定铜背板的办法制备?ITO不能直接加工打孔安装不?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
若能够得到有效冷却就可以,否则不行。
2楼2014-01-18 22:13:59
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