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过路留心

金虫 (正式写手)

[求助] 扫描电镜的减震系统? 已有1人参与

最近看到扫描电镜的减震方法非常多,其中最常见的大家说的是机械减震和气垫减震,还有主动减震,请教一下,这几种减震方法主要原理是什么呢?

各种减震方法的优缺点在哪里?

听说气垫减震时间长了以后,橡胶会老化,若是气压太大,则会损坏气垫,若是气压小,则又起不到减震的效果,请问会不会存在这样的问题呢?
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

广州索益半导体之前给我们做过实验室建设咨询,以下说法应该靠谱:
被动减震台国产的就行,价格便宜,但是过滤不掉低频振动(一般4Hz以下频率就滤不掉了);
主动减震台一般是进口的,价格较贵,一般一台SEM两个长条凳二三十万就去了,效果一般很牛b,在低层的话基本都可以解决问题;
如果在底层的话还可以挖个大坑做防微震独立地基,同济大学专业做这个,自称效果很好,但是说据调查比做之前变好和变坏的概率基本一半一半,这种做法逼格极高;
如果跟中科大一样在十八层楼顶上放个曝光台之类的设备,唯一办法就是降级使用吧……
3楼2014-10-25 22:31:19
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

这个还真不知道是啥原理,只是知道我们那屋整个是用的减震地板系统,貌似还很贵
2楼2014-01-17 23:57:10
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