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过路留心

金虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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[求助] 扫描电镜的减震系统？已有1人参与

最近看到扫描电镜的减震方法非常多，其中最常见的大家说的是机械减震和气垫减震，还有主动减震，请教一下，这几种减震方法主要原理是什么呢？

各种减震方法的优缺点在哪里？

听说气垫减震时间长了以后，橡胶会老化，若是气压太大，则会损坏气垫，若是气压小，则又起不到减震的效果，请问会不会存在这样的问题呢？

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1楼 2014-01-17 16:16:19

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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

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专业: 半导体光电子器件

【答案】应助回帖

广州索益半导体之前给我们做过实验室建设咨询，以下说法应该靠谱：
被动减震台国产的就行，价格便宜，但是过滤不掉低频振动（一般4Hz以下频率就滤不掉了）；
主动减震台一般是进口的，价格较贵，一般一台SEM两个长条凳二三十万就去了，效果一般很牛b，在低层的话基本都可以解决问题；
如果在底层的话还可以挖个大坑做防微震独立地基，同济大学专业做这个，自称效果很好，但是说据调查比做之前变好和变坏的概率基本一半一半，这种做法逼格极高；
如果跟中科大一样在十八层楼顶上放个曝光台之类的设备，唯一办法就是降级使用吧……