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扫描电镜的减震系统?
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过路留心
金虫
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虫号: 947830
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专业: 其他无机非金属材料
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扫描电镜的减震系统?
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最近看到扫描电镜的减震方法非常多,其中最常见的大家说的是机械减震和气垫减震,还有主动减震,请教一下,这几种减震方法主要原理是什么呢?
各种减震方法的优缺点在哪里?
听说气垫减震时间长了以后,橡胶会老化,若是气压太大,则会损坏气垫,若是气压小,则又起不到减震的效果,请问会不会存在这样的问题呢?
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1楼
2014-01-17 16:16:19
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gxytju2008
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虫号: 1111232
注册: 2010-09-29
性别: GG
专业: 材料物理化学
管辖:
微米和纳米
这个还真不知道是啥原理,只是知道我们那屋整个是用的减震地板系统,貌似还很贵
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2楼
2014-01-17 23:57:10
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巴巴罗萨
铁虫
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虫号: 14967
注册: 2003-06-07
性别: GG
专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
广州索益半导体之前给我们做过实验室建设咨询,以下说法应该靠谱:
被动减震台国产的就行,价格便宜,但是过滤不掉低频振动(一般4Hz以下频率就滤不掉了);
主动减震台一般是进口的,价格较贵,一般一台SEM两个长条凳二三十万就去了,效果一般很牛b,在低层的话基本都可以解决问题;
如果在底层的话还可以挖个大坑做防微震独立地基,同济大学专业做这个,自称效果很好,但是说据调查比做之前变好和变坏的概率基本一半一半,这种做法逼格极高;
如果跟中科大一样在十八层楼顶上放个曝光台之类的设备,唯一办法就是降级使用吧……
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3楼
2014-10-25 22:31:19
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