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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 关于断面元素分布表征,EDS线扫可以吗?还是SIMS(二次离子质谱仪)?O(∩_∩)O谢谢 已有3人参与

关于膜层断面元素分布的表征,小弟先在基体上镀了一层金属膜,而后将表面膜层通过等离子体氧化,想看看氧化的膜层有多厚,即氧元素渗入多深,镀的金属膜大概800nm,EDS线扫可以吗?误差大不大?我看文献上有用SIMS(二次离子质谱仪)的?这个仪器是不是很高端?希望这方面的大神赐教!
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alice_762178

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

二次离子质谱仪可以测试薄膜的微量元素的含量,应该可以测试你的样品。
5楼2014-02-27 16:21:56
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢,800w貌似也不便宜啊 2014-01-11 21:50:07
EDS不太行,尤其对O,信号太弱,误差大,而且估计你氧化膜也不会太厚,EDS成像分辨率也不会很高,SIMS准倒是没问题,不过离子枪聚焦能力也不是很强,如果用SIMS我建议从正面打,一层层抛掉打谱,SIMS仪器比较小众确实,有的地方比较少,倒也不是因为特别贵,800w的样子吧
2楼2014-01-11 20:43:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-11 20:43:12
EDS不太行,尤其对O,信号太弱,误差大,而且估计你氧化膜也不会太厚,EDS成像分辨率也不会很高,SIMS准倒是没问题,不过离子枪聚焦能力也不是很强,如果用SIMS我建议从正面打,一层层抛掉打谱,SIMS仪器比较小众确 ...

主要是用的场合少哈,如果像XPS那种就算贵也不会难找的,每个学校基本都有
3楼2014-01-11 21:52:24
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是可以做的~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
麦麦爸爸爱小牛
4楼2014-01-11 22:19:39
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