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houhualong木虫 (正式写手)
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[求助]
关于断面元素分布表征，EDS线扫可以吗？还是SIMS（二次离子质谱仪）？O(∩_∩)O谢谢 已有3人参与
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关于膜层断面元素分布的表征，小弟先在基体上镀了一层金属膜，而后将表面膜层通过等离子体氧化，想看看氧化的膜层有多厚，即氧元素渗入多深，镀的金属膜大概800nm，EDS线扫可以吗？误差大不大？我看文献上有用SIMS（二次离子质谱仪）的？这个仪器是不是很高端？希望这方面的大神赐教！ |
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