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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于断面元素分布表征，EDS线扫可以吗？还是SIMS（二次离子质谱仪）？O(∩_∩)O谢谢
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houhualong

木虫 (正式写手)

[求助] 关于断面元素分布表征，EDS线扫可以吗？还是SIMS（二次离子质谱仪）？O(∩_∩)O谢谢 已有3人参与

关于膜层断面元素分布的表征，小弟先在基体上镀了一层金属膜，而后将表面膜层通过等离子体氧化，想看看氧化的膜层有多厚，即氧元素渗入多深，镀的金属膜大概800nm，EDS线扫可以吗？误差大不大？我看文献上有用SIMS（二次离子质谱仪）的？这个仪器是不是很高端？希望这方面的大神赐教！
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爱之于我，不是肌肤之亲，不是一蔬一饭，它是一种不死的欲望，是疲惫生活中的英雄梦想
1楼 2014-01-11 16:37:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
houhualong: 金币+5, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢，800w貌似也不便宜啊 2014-01-11 21:50:07
EDS不太行，尤其对O，信号太弱，误差大，而且估计你氧化膜也不会太厚，EDS成像分辨率也不会很高，SIMS准倒是没问题，不过离子枪聚焦能力也不是很强，如果用SIMS我建议从正面打，一层层抛掉打谱，SIMS仪器比较小众确实，有的地方比较少，倒也不是因为特别贵，800w的样子吧
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2楼2014-01-11 20:43:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-11 20:43:12
EDS不太行，尤其对O，信号太弱，误差大，而且估计你氧化膜也不会太厚，EDS成像分辨率也不会很高，SIMS准倒是没问题，不过离子枪聚焦能力也不是很强，如果用SIMS我建议从正面打，一层层抛掉打谱，SIMS仪器比较小众确 ...

主要是用的场合少哈，如果像XPS那种就算贵也不会难找的，每个学校基本都有
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3楼2014-01-11 21:52:24
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该是可以做的~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
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麦麦爸爸爱小牛
4楼2014-01-11 22:19:39
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alice_762178

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

二次离子质谱仪可以测试薄膜的微量元素的含量，应该可以测试你的样品。
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5楼2014-02-27 16:21:56
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