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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 请问想做元素距离表面的分布，采用什么方法好？
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wanghui_nuaa

[交流] 请问想做元素距离表面的分布，采用什么方法好？

样品是金属，想采用刻蚀法并测量某些元素距离表面的浓度分布，采用什么方法比较好？ 采用俄歇能谱是否可以？
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1楼 2008-01-09 15:46:44
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justso1

木虫 (正式写手)
可以的,你可以测出元素的深度分布.
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2楼2008-01-09 16:55:31
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pzzhang

铁虫 (正式写手)
GDS也可以.
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3楼2008-01-09 23:18:43
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
若分析深度在~10nm以内，可以考虑用变角XPS
如果深度较深，可以考虑所有固态物质元素分析手段，如SIMS，AES，XPS，EPMA，XRF等，但是要配有溅射离子枪
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4楼2008-01-10 08:39:56
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ziligong

金虫 (小有名气)
AES和XPS均可，如果不做化学态的话AES就满足了
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5楼2008-01-12 14:10:13
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leisurewhale

GDS是最快捷的手段～～可以按元素的质量百分比和原子百分比出结果
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6楼2008-01-13 12:38:54
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