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wanghui_nuaa

[交流] 请问想做元素距离表面的分布,采用什么方法好?

样品是金属,想采用刻蚀法并测量某些元素距离表面的浓度分布,采用什么方法比较好? 采用俄歇能谱是否可以?
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justso1

木虫 (正式写手)

可以的,你可以测出元素的深度分布.
2楼2008-01-09 16:55:31
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pzzhang

铁虫 (正式写手)

GDS也可以.
3楼2008-01-09 23:18:43
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

若分析深度在~10nm以内,可以考虑用变角XPS
如果深度较深,可以考虑所有固态物质元素分析手段,如SIMS,AES,XPS,EPMA,XRF等,但是要配有溅射离子枪
4楼2008-01-10 08:39:56
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ziligong

金虫 (小有名气)

AES和XPS均可,如果不做化学态的话AES就满足了
5楼2008-01-12 14:10:13
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leisurewhale

GDS是最快捷的手段~~可以按元素的质量百分比和原子百分比出结果
6楼2008-01-13 12:38:54
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