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uknow735木虫 (小有名气)
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[交流]
硅片的质子化
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请教大家一个问题 目前我想在硅片上做些工作，先需要将硅片表面质子化，即先将硅片表面的氧化层除去，然后使其表面带上质子，从而可以形成Si-H。 我查到大概的方法是用HF腐蚀掉氧化层，再用NH4F溶液浸泡似乎就可以使其表面带上质子了。但是具体方法还不是很清楚。不知道有做过这方面处理的吗？希望能给点指教，尤其是具体的方法。还有就是这种硅片上形成的Si-H将该如何检测呢？十分感谢  [ Last edited by uknow735 on 2008-1-6 at 15:48 ] |
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