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uknow735

木虫 (小有名气)

[交流] 硅片的质子化

请教大家一个问题
目前我想在硅片上做些工作,先需要将硅片表面质子化,即先将硅片表面的氧化层除去,然后使其表面带上质子,从而可以形成Si-H。

我查到大概的方法是用HF腐蚀掉氧化层,再用NH4F溶液浸泡似乎就可以使其表面带上质子了。但是具体方法还不是很清楚。不知道有做过这方面处理的吗?希望能给点指教,尤其是具体的方法。还有就是这种硅片上形成的Si-H将该如何检测呢?十分感谢

[ Last edited by uknow735 on 2008-1-6 at 15:48 ]
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uknow735

木虫 (小有名气)

请大家提点一下吧,怎么没人回答呢?
2楼2008-01-07 16:08:54
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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)

好多人使用电化学的方法可以。具体查文献,至于检测方法,红外应该可以的。
3楼2008-01-07 20:42:28
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