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肖敬荣

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片 已有6人参与

请教大师,有谁是做微流控芯片的,怎样可以实现在同一个芯片上有不同高度的柱子,比如一行的高度是4微米,一行是7微米的,谢谢啦!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+4, ★有帮助 2013-12-30 16:58:49
两次光刻,第一次光刻出来4微米的,坚膜后重新涂胶,做7um的。
如果第二次光刻中,涂胶效果不好,可以用喷胶。
这个我可以帮你们做。
10楼2013-12-30 16:21:59
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普通回帖

Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+5 2013-12-30 11:02:38
不知道柱子的间距是多少?尺寸多大?要是可行的话,可以用牺牲层遮挡实现
千里之行始于足下
2楼2013-12-29 09:14:08
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+3 2013-12-30 11:02:48
可以考虑先全做成7微米高的柱子,再把需要4微米的柱子底层填充起来
3楼2013-12-29 11:14:36
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
文中的文献3.    不知道能不能帮着你
一种高效低成本HeLa细胞培养微流控芯片
http://www.doc88.com/p-999971551349.html
4楼2013-12-29 11:31:44
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肖敬荣

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Adrean at 2013-12-29 09:14:08
不知道柱子的间距是多少?尺寸多大?要是可行的话,可以用牺牲层遮挡实现

主要是想在一个微流控芯片上实现有不同高度的柱子,有没有具体的方法?
5楼2013-12-30 11:01:13
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肖敬荣

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by reninhat at 2013-12-29 11:14:36
可以考虑先全做成7微米高的柱子,再把需要4微米的柱子底层填充起来

怎么实现底层填充?
6楼2013-12-30 11:01:42
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
LZ需要说清楚柱子是什么材料,做在什么位置(槽中还是整体平面上)? 这么提问,很悲剧!
7楼2013-12-30 12:06:09
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catherine9952

木虫 (正式写手)

博士

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+3 2013-12-30 14:19:16
可以分两层做,也可以用3D打印技术做模具
人生刚刚起步,要让自己更精彩!
8楼2013-12-30 12:59:03
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肖敬荣

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by catherine9952 at 2013-12-30 12:59:03
可以分两层做,也可以用3D打印技术做模具

分两层怎么做?
9楼2013-12-30 14:28:31
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