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肖敬荣

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片已有6人参与

请教大师,有谁是做微流控芯片的,怎样可以实现在同一个芯片上有不同高度的柱子,比如一行的高度是4微米,一行是7微米的,谢谢啦!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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肖敬荣: 金币+4, 有帮助 2013-12-30 16:58:49
两次光刻,第一次光刻出来4微米的,坚膜后重新涂胶,做7um的。
如果第二次光刻中,涂胶效果不好,可以用喷胶。
这个我可以帮你们做。
10楼2013-12-30 16:21:59
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+5 2013-12-30 11:02:38
不知道柱子的间距是多少?尺寸多大?要是可行的话,可以用牺牲层遮挡实现
千里之行始于足下
2楼2013-12-29 09:14:08
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
肖敬荣: 金币+3 2013-12-30 11:02:48
可以考虑先全做成7微米高的柱子,再把需要4微米的柱子底层填充起来
3楼2013-12-29 11:14:36
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
文中的文献3.    不知道能不能帮着你
一种高效低成本HeLa细胞培养微流控芯片
http://www.doc88.com/p-999971551349.html
4楼2013-12-29 11:31:44
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