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肖敬荣

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-30 16:21:59
两次光刻，第一次光刻出来4微米的，坚膜后重新涂胶，做7um的。
如果第二次光刻中，涂胶效果不好，可以用喷胶。
这个我可以帮你们做。

有没有相关的文献可以发过来我看一下
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11楼2013-12-30 16:57:54
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 肖敬荣 at 2013-12-30 11:01:13
主要是想在一个微流控芯片上实现有不同高度的柱子，有没有具体的方法？...

没有具体信息的话，有一种办法：利用灰度掩模光刻再刻蚀可以得到不同高度的坑，再倒一下模具就可以得到不同高度的柱子了
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千里之行始于足下
12楼2013-12-30 19:23:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by 肖敬荣 at 2013-12-30 16:57:54
有没有相关的文献可以发过来我看一下...

文献要是有用，还要老师干什么……
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13楼2013-12-31 12:30:52
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