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骑猪去散步

木虫 (初入文坛)

老男孩

[求助] 硅基电化学腐蚀,求助!!

单晶硅电化学腐蚀  腐蚀液是HF+DMF
前段时间做的时候电流较小,能够正常腐蚀出需要的图形
后来改变电流大小,增大了腐蚀电流,就出现腐蚀不下去的现象,只能腐蚀下去一点点的深度,而且在光学显微镜下观察能够观察到明显粗糙有小孔的表面
这是怎么回事??有高人懂的没有,或者有相关文献提供,万分感谢
正常的情况下,电流大了应该会出现电抛光现象,怎么还会出现粗糙的表面??
会不会是表面有氧化物形成阻止了腐蚀的进行??
望高人解答!!
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相思无用,唯别而已,别期若有定,千般煎熬又何如,莫道黯然消魂,何处柳暗花
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CHNxmc

木虫 (小有名气)

你的电解池是什么材质的?
2楼2014-07-23 12:54:24
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