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氢退火！
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硅波导侧壁粗糙度较大，通过氢退火可以改善表面光滑度，请问国内现在哪里可以做微纳米量级硅波导的氢退火？退火的工艺参数（时间、温度、压强）大概是什么情况？希望有知情者给与指导。。。 |
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