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shuitong110银虫 (小有名气)
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[求助]
氢退火！
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硅波导侧壁粗糙度较大，通过氢退火可以改善表面光滑度，请问国内现在哪里可以做微纳米量级硅波导的氢退火？退火的工艺参数（时间、温度、压强）大概是什么情况？希望有知情者给与指导。。。 |
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8楼2014-06-06 11:12:58
3楼2013-12-28 16:00:46
shuitong110
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 209.3
- 散金: 1042
- 红花: 6
- 帖子: 263
- 在线: 85.7小时
- 虫号: 2772293
- 注册: 2013-11-02
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-12-28 17:03:51
5楼2013-12-29 17:52:35
