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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 氢退火！
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shuitong110

银虫 (小有名气)

[求助] 氢退火！

硅波导侧壁粗糙度较大，通过氢退火可以改善表面光滑度，请问国内现在哪里可以做微纳米量级硅波导的氢退火？退火的工艺参数（时间、温度、压强）大概是什么情况？希望有知情者给与指导。。。
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1楼 2013-12-27 10:28:25
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yuyanpiaoxue

金虫 (初入文坛)
★
tyhjqxbz: 金币+1, 鼓励发帖交流求助，常来工艺技术版 2014-06-06 14:55:54
请问您有没有做过氢退火的仿真模拟呢？
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8楼2014-06-06 11:12:58
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-12-28 20:00:37
scu2020: 专家考核 2013-12-28 20:00:42
理论上达到相变温度可以改变晶粒大小  可是这个是金属上的 非金属的相变没接触过啊  忒冷了
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人造金刚石及其制品And周边设备
3楼2013-12-28 16:00:46
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shuitong110

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2013-12-28 16:00:46
理论上达到相变温度可以改变晶粒大小  可是这个是金属上的 非金属的相变没接触过啊  忒冷了

对啊  我查询的这方面的文章大多也都是国外在做，所以想看看国内这方面怎么样，只要有设备，可以试试也行。。。哎。。。。寥寥无几啊。。。。
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4楼2013-12-28 17:03:51
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★
shuitong110(scu2020代发): 金币+5, 感谢应助交流，代楼主发金币 2014-05-13 18:44:11
scu2020: 专家考核 2014-05-13 18:44:21
引用回帖:
4楼: Originally posted by shuitong110 at 2013-12-28 17:03:51
对啊  我查询的这方面的文章大多也都是国外在做，所以想看看国内这方面怎么样，只要有设备，可以试试也行。。。哎。。。。寥寥无几啊。。。。...

其实马弗炉也可以尝试 只是不方便给氢气，如果你的样品足够小的话铁管加喷灯加氢气也是可以的  起码做个晶相分析足够了
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人造金刚石及其制品And周边设备
5楼2013-12-29 17:52:35
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