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shuitong110银虫 (小有名气)
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氢退火!
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硅波导侧壁粗糙度较大,通过氢退火可以改善表面光滑度,请问国内现在哪里可以做微纳米量级硅波导的氢退火?退火的工艺参数(时间、温度、压强)大概是什么情况?希望有知情者给与指导。。。![]() ![]() |
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shuitong110
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4楼2013-12-28 17:03:51

3楼2013-12-28 16:00:46

5楼2013-12-29 17:52:35
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6楼2013-12-30 08:36:41















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