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ledlau

木虫 (著名写手)

[交流] 样品表面清洗与干燥 已有11人参与

平时实验的时候都是用的划片机切割成的15×15,或者10×10的小硅片
在表面进行一些列微工艺之后
用去离子水清洗
然后为了使样品干燥,采用N2吹干

但是实际上,特别是秋冬季节,感觉表面还是很湿润
而且当硅片表面有Cu层,为了防止氧化,不能放入干燥箱烘干

请问下 大家平时是怎么处理这种情况的啊
如样品要去拍SEM,样品有表面有水分的话,拍摄效果很不好
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yehanwin

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空箱不靠谱,你闻一闻里边的味儿就不可能好!最好的办法就是N2吹,不是吹干,而是吹跑...
升级为木虫,纪念下!
18楼2013-12-30 10:07:50
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