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射频做二氧化钛薄膜
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那位大神做过二氧化钛薄膜，最近用射频磁控溅射做的二氧化钛薄膜特别薄，不知道是什么原因？基底温度大约500 功率150W 通氧 时间一小时 可是膜后仅10nm左右 |
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