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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 射频做二氧化钛薄膜
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王建春198728

金虫 (小有名气)

[交流] 射频做二氧化钛薄膜

那位大神做过二氧化钛薄膜，最近用射频磁控溅射做的二氧化钛薄膜特别薄，不知道是什么原因？基底温度大约500 功率150W 通氧 时间一小时
可是膜后仅10nm左右
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1楼 2013-12-26 12:23:15
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lvshanglan

银虫 (小有名气)
★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
没做过，祝成功！
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3楼2013-12-26 15:06:08
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
看看是不是发射功率较大
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4楼2013-12-26 17:39:53
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是靶中毒了，Ar放电清理靶材或者取出人工清理后预放电，再镀膜试试看。
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5楼2014-01-02 09:01:15
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韩超1119

新虫 (初入文坛)
★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是氧氩比过高导致靶中毒。
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6楼2014-06-27 08:09:52
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