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射频做二氧化钛薄膜
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王建春198728
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虫号: 2087625
[交流]
射频做二氧化钛薄膜
那位大神做过二氧化钛薄膜,最近用射频磁控溅射做的二氧化钛薄膜特别薄,不知道是什么原因?基底温度大约500 功率150W 通氧 时间一小时
可是膜后仅10nm左右
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2013-12-26 12:23:15
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lvshanglan
银虫
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虫号: 2605411
★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
没做过,祝成功!
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3楼
2013-12-26 15:06:08
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vincentwz
铁杆木虫
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★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
看看是不是发射功率较大
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4楼
2013-12-26 17:39:53
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sun-boymlh
铜虫
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★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是靶中毒了,Ar放电清理靶材或者取出人工清理后预放电,再镀膜试试看。
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5楼
2014-01-02 09:01:15
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韩超1119
新虫
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★
王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是氧氩比过高导致靶中毒。
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6楼
2014-06-27 08:09:52
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