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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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王建春198728

实习版主

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[交流] 射频做二氧化钛薄膜

那位大神做过二氧化钛薄膜,最近用射频磁控溅射做的二氧化钛薄膜特别薄,不知道是什么原因?基底温度大约500 功率150W 通氧 时间一小时
可是膜后仅10nm左右
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vincentwz

专家顾问

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王建春198728(金币+1): 谢谢参与
看看是不是发射功率较大
4楼2013-12-26 17:39:53
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lvshanglan

专家顾问

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王建春198728(金币+1): 谢谢参与
没做过,祝成功!
3楼2013-12-26 15:06:08
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sun-boymlh

超级版主

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王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是靶中毒了,Ar放电清理靶材或者取出人工清理后预放电,再镀膜试试看。
5楼2014-01-02 09:01:15
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韩超1119

实习版主

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王建春198728(金币+1): 谢谢参与
可能是氧氩比过高导致靶中毒。
6楼2014-06-27 08:09:52
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