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磁控溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶?
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lzg919530615
金虫
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磁控溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶?
已有1人参与
请问下溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶?我想要的是材料的非晶态,是不是溅射不应该加热衬底呢?衬底加热有什么用呢?谢谢!
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2013-12-25 21:45:29
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2013-12-27 15:55:35
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wiseroy
木虫
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
取决于所要制备的材料种类与性质
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善良
2楼
2013-12-26 12:59:38
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