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lzg919530615金虫 (正式写手)
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磁控溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶？ 已有1人参与
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| 请问下溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶？我想要的是材料的非晶态，是不是溅射不应该加热衬底呢？衬底加热有什么用呢？谢谢！ |
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wiseroy
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2楼2013-12-26 12:59:38
匿名
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