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lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶? 已有1人参与

请问下溅射时加热衬底是不是有利于材料的结晶?我想要的是材料的非晶态,是不是溅射不应该加热衬底呢?衬底加热有什么用呢?谢谢!
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
取决于所要制备的材料种类与性质
善良
2楼2013-12-26 12:59:38
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
3楼2013-12-27 15:55:35
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