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电离氧气的条件--脉冲激光沉积
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想在脉冲激光沉积中使用活性氧源，仪器的说明书中提到，“气体电离的工作压力一般为10~20Pa”。看过一些文献，其中提到在10^-2~10^-3压力下，通过电离高纯氧得到活性氧源。 请问是否电离气体产生辉光才说明电离Sample Text发生；10^-2Pa的氧气压力下是否能发生电离，如果可以则电离电源的功率大概在什么范围内。 实验均使用高纯氧作为工作气体，不加入Ar等其他气体。 谢谢啦。 |
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