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疯狂记事本

新虫 (初入文坛)

[交流] 电离氧气的条件--脉冲激光沉积

想在脉冲激光沉积中使用活性氧源，仪器的说明书中提到，“气体电离的工作压力一般为10~20Pa”。看过一些文献，其中提到在10^-2~10^-3压力下，通过电离高纯氧得到活性氧源。
请问是否电离气体产生辉光才说明电离Sample Text发生；10^-2Pa的氧气压力下是否能发生电离，如果可以则电离电源的功率大概在什么范围内。
实验均使用高纯氧作为工作气体，不加入Ar等其他气体。
谢谢啦。
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1楼 2013-12-19 15:26:56
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