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疯狂记事本

新虫 (初入文坛)


[交流] 电离氧气的条件--脉冲激光沉积

想在脉冲激光沉积中使用活性氧源,仪器的说明书中提到,“气体电离的工作压力一般为10~20Pa”。看过一些文献,其中提到在10^-2~10^-3压力下,通过电离高纯氧得到活性氧源。
请问是否电离气体产生辉光才说明电离Sample Text发生;10^-2Pa的氧气压力下是否能发生电离,如果可以则电离电源的功率大概在什么范围内。
实验均使用高纯氧作为工作气体,不加入Ar等其他气体。
谢谢啦。
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