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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
19楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-19 13:59:00
对的 但是这压升率 今天又测了下13pa/h 。这也太。。。
...

说明设备的状况恶化了。要赶快找出原因，只有等到修好了才能使用。
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21楼2013-12-19 17:32:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
20楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-19 14:01:40
国标1.33pa/h  这也差太多了吧 说明书写要抽到1pa左右扩散泵才会开始工作  。是不是扩散泵越小要求的压力越低啊 可能是这方面原因吗
...

应该不是。因为你的真空室也很小，用不着太大的扩散泵。
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22楼2013-12-19 17:34:33
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
22楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-19 17:34:33
应该不是。因为你的真空室也很小，用不着太大的扩散泵。...

嗯 应该是扩散泵问题 谢谢

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QuincyShan
23楼2013-12-19 19:18:53
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-18 23:49:25
预热时是不是也要开冷却水？我们说明书就是这么几句:打开高阀 接通冷却水和扩散泵电源，预热20分钟后扩散泵开始工作 进行实验。
...

当然得开啊要不泵体得多热啊
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24楼2013-12-19 21:02:55
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-18 23:52:52
这原理我知道啊 。我现在就是想知道扩散泵的电炉还是油的问题。上次开了一下午的扩散泵 始终是4pa。我以为漏气太快扩散泵抽不下来呢
...

你扩散泵的电加热丝是不是断了啊，油根本没被加热啊。建议用个万用表测下电阻对不对（把线拆了测，一般是3路加热丝）。
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25楼2013-12-19 21:06:21
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-19 10:34:39
冷却水一直同时开着的 。就是不知扩散泵预热是连着真空室还是与真空室隔绝预热。 而且低于0.1pa不能打开高阀。
...

不开高阀就可以预热，开机械泵抽扩散泵，要不油会氧化。预热完了，再开高阀
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fuvbaby
26楼2013-12-19 21:09:20
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-19 12:59:08
摸不到扩散泵的温度 而且几年没换油了 -_-||。。。。  电阻丝和油的问题应该是   我决定先把漏的地方弄好 再试一次扩散泵。还不工作就拆了！（机械泵写的极限真空是6*10-2pa，现在只能抽到5pa左右，是漏气问题吧？ ...

机械泵就是PA量级，那个极限一般是不可能的，你的机械泵一点问题没有，检查扩散泵吧
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fuvbaby
27楼2013-12-19 21:11:24
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
26楼: Originally posted by gladiater at 2013-12-19 21:09:20
不开高阀就可以预热，开机械泵抽扩散泵，要不油会氧化。预热完了，再开高阀...

好的 谢谢

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QuincyShan
28楼2013-12-21 12:04:17
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
27楼: Originally posted by gladiater at 2013-12-19 21:11:24
机械泵就是PA量级，那个极限一般是不可能的，你的机械泵一点问题没有，检查扩散泵吧...

您觉得漏气还有必要查了吗？这压升率扩散泵正常就可以抽到-3pa级别了吧。

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QuincyShan
29楼2013-12-21 12:09:40
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by gladiater at 2013-12-19 21:06:21
你扩散泵的电加热丝是不是断了啊，油根本没被加热啊。建议用个万用表测下电阻对不对（把线拆了测，一般是3路加热丝）。...

是3个接口，3根线 我以为2根是接的电阻丝一个是接地  。。应该是这样吧 ？

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QuincyShan
30楼2013-12-21 12:16:23
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