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流水如风

银虫 (小有名气)

[求助] 对硅基片进行亲水处理，采用NH4OH/H2O2溶液的话配比一般是多少？

如题
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1楼 2013-12-11 11:06:31
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lucasone

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
流水如风: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-12-16 19:39:36
氨水，双氧水，去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。
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2楼2013-12-11 13:18:12
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流水如风

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-11 13:18:12
氨水，双氧水，去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。

处理过程是将硅基片放在NH4OH/H2O2溶液中，然后90度水浴加热一个小时吗？
刚接触这方面还请多多指教
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3楼2013-12-12 21:23:53
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lucasone

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 流水如风 at 2013-12-12 21:23:53
处理过程是将硅基片放在NH4OH/H2O2溶液中，然后90度水浴加热一个小时吗？
刚接触这方面还请多多指教...

对，硅片之间要用异丙醇，丙酮和去离子水分别超声清洗，然后用氨水双氧水处理。
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4楼2013-12-13 09:18:42
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流水如风

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-13 09:18:42
对，硅片之间要用异丙醇，丙酮和去离子水分别超声清洗，然后用氨水双氧水处理。...

氨水用浓度为28%的，双氧水选用多少的浓度？
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5楼2013-12-13 11:03:59
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小矮晶晶

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-11 13:18:12
氨水，双氧水，去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。

你好，氨水和双氧水的浓度有要求吗？需要浓氨水吗？直接加热之类可以吗？有什么潜在危害吗？
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6楼2014-06-08 18:48:40
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lucasone

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 小矮晶晶 at 2014-06-08 18:48:40
你好，氨水和双氧水的浓度有要求吗？需要浓氨水吗？直接加热之类可以吗？有什么潜在危害吗？...

就是正常买的就行，我们用的水浴，直接加热应该也行，但是控温没那么容易，危害就是味道比较大，最好在通风橱里面做
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7楼2014-06-09 08:29:00
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小矮晶晶

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by lucasone at 2014-06-09 08:29:00
就是正常买的就行，我们用的水浴，直接加热应该也行，但是控温没那么容易，危害就是味道比较大，最好在通风橱里面做...

好的，非常感谢！
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8楼2014-06-09 11:38:23
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hpfans27

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by lucasone at 2014-06-09 08:29:00
就是正常买的就行，我们用的水浴，直接加热应该也行，但是控温没那么容易，危害就是味道比较大，最好在通风橱里面做...

请问这个配溶液的过程是？把氨水和双氧水先后加到去离子水里面？
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9楼2016-03-08 08:52:59
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