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流水如风

银虫 (小有名气)

[求助] 对硅基片进行亲水处理,采用NH4OH/H2O2溶液的话配比一般是多少?

如题
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lucasone

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
流水如风: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-12-16 19:39:36
氨水,双氧水,去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。
2楼2013-12-11 13:18:12
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流水如风

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-11 13:18:12
氨水,双氧水,去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。

处理过程是将硅基片放在NH4OH/H2O2溶液中,然后90度水浴加热一个小时吗?
刚接触这方面还请多多指教
3楼2013-12-12 21:23:53
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lucasone

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 流水如风 at 2013-12-12 21:23:53
处理过程是将硅基片放在NH4OH/H2O2溶液中,然后90度水浴加热一个小时吗?
刚接触这方面还请多多指教...

对,硅片之间要用异丙醇,丙酮和去离子水分别超声清洗,然后用氨水双氧水处理。
4楼2013-12-13 09:18:42
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流水如风

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-13 09:18:42
对,硅片之间要用异丙醇,丙酮和去离子水分别超声清洗,然后用氨水双氧水处理。...

氨水用浓度为28%的,双氧水选用多少的浓度?
5楼2013-12-13 11:03:59
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小矮晶晶

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lucasone at 2013-12-11 13:18:12
氨水,双氧水,去离子水体积比为1:1:5,90度水浴加热一个小时。

你好,氨水和双氧水的浓度有要求吗?需要浓氨水吗?直接加热之类可以吗?有什么潜在危害吗?
6楼2014-06-08 18:48:40
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lucasone

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 小矮晶晶 at 2014-06-08 18:48:40
你好,氨水和双氧水的浓度有要求吗?需要浓氨水吗?直接加热之类可以吗?有什么潜在危害吗?...

就是正常买的就行,我们用的水浴,直接加热应该也行,但是控温没那么容易,危害就是味道比较大,最好在通风橱里面做
7楼2014-06-09 08:29:00
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小矮晶晶

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by lucasone at 2014-06-09 08:29:00
就是正常买的就行,我们用的水浴,直接加热应该也行,但是控温没那么容易,危害就是味道比较大,最好在通风橱里面做...

好的,非常感谢!
8楼2014-06-09 11:38:23
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hpfans27

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by lucasone at 2014-06-09 08:29:00
就是正常买的就行,我们用的水浴,直接加热应该也行,但是控温没那么容易,危害就是味道比较大,最好在通风橱里面做...

请问这个配溶液的过程是?把氨水和双氧水先后加到去离子水里面?
9楼2016-03-08 08:52:59
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