5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来 ...

21楼: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:27:56
您好！请问浓硫酸和双氧水用怎么样一个配比煮呢？求解答！跪谢！...

20?: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:24:52
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20楼: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:24:52
您好！请问双氧水加浓硫酸是陪在一起用还是分开用啊。如果是一起用的话是怎么样的配比啊？跪谢！...

25楼: Originally posted by zhanjiang at 2014-02-13 10:03:29
是一起用，我们实验室常常用的比例是双氧水：浓硫酸=1:2，在热板上加热120℃左右，沸腾10分钟左右。然后用大量的去离子水清洗干净，烘干后就可以用了。硅片一定要烘干，要不然也会脱落的。在用之前要放冷至室温。  ...

5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来 ...