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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助SU-8为什么大面积脱落
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来 ...

您好！请问浓硫酸和双氧水用怎么样一个配比煮呢？求解答！跪谢！
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21楼2014-02-09 15:27:56
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wxa616

银虫 (小有名气)
请问问题解决了吗？我的也是在玻璃板上大面积的SU8，也会脱落，怎么解决的呢
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无咎无誉
22楼2014-02-12 10:19:55
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:27:56
您好！请问浓硫酸和双氧水用怎么样一个配比煮呢？求解答！跪谢！...

你的上面有铬，能用浓硫酸煮吗？
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无咎无誉
23楼2014-02-12 10:21:02
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zhanjiang

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

???????:
20?: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:24:52
??????????????????????????????????????????????????????????????????????л??...

是??在一起用。???氧水的比例为1，浓硫酸的比例为2，注??加的顺??。把样??放在这个溶液里，放在热???上加热，120摄??度左???，沸腾10分钟左??????用大??的去离??水把样??冲洗干净，然???烘干备用。

[ ????С??????? ]
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24楼2014-02-12 11:44:40
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zhanjiang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by lijianan411 at 2014-02-09 15:24:52
您好！请问双氧水加浓硫酸是陪在一起用还是分开用啊。如果是一起用的话是怎么样的配比啊？跪谢！...

是一起用，我们实验室常常用的比例是双氧水：浓硫酸=1:2，在热板上加热120℃左右，沸腾10分钟左右。然后用大量的去离子水清洗干净，烘干后就可以用了。硅片一定要烘干，要不然也会脱落的。在用之前要放冷至室温。 还有，如果你的硅片上面有别的结构的话要注意一点，我说的这种清洗方法能去除很多东西，可能会把你的结构给弄掉了。 昨天手机回复的，所以是乱码。
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25楼2014-02-13 10:03:29
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
25楼: Originally posted by zhanjiang at 2014-02-13 10:03:29
是一起用，我们实验室常常用的比例是双氧水：浓硫酸=1:2，在热板上加热120℃左右，沸腾10分钟左右。然后用大量的去离子水清洗干净，烘干后就可以用了。硅片一定要烘干，要不然也会脱落的。在用之前要放冷至室温。  ...

非常感谢！我再去试试看！
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26楼2014-02-19 17:00:43
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moon0229

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能有三个原因吧，第一个就是基底可能清洗不干净，还有前烘后烘温度没控制好，至于显影好像影响不大。。希望对你有点帮助
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不要迷失自己·
27楼2014-04-21 22:49:26
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过客6688

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来 ...

您好，我现在在做SU8的相关工艺，想向你学习一下，方面留一下的你联系方式吗？
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28楼2015-07-03 09:34:07
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