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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助SU-8为什么大面积脱落
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助SU-8为什么大面积脱落 已有6人参与

最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构，SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构，显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中，SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢！
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1楼 2013-12-10 14:45:00
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by zhanjiang at 2013-12-12 21:33:30
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。
...

您好！请问双氧水加浓硫酸是陪在一起用还是分开用啊。如果是一起用的话是怎么样的配比啊？跪谢！
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20楼2014-02-09 15:24:52
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来 ...

您好！请问浓硫酸和双氧水用怎么样一个配比煮呢？求解答！跪谢！
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21楼2014-02-09 15:27:56
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
25楼: Originally posted by zhanjiang at 2014-02-13 10:03:29
是一起用，我们实验室常常用的比例是双氧水：浓硫酸=1:2，在热板上加热120℃左右，沸腾10分钟左右。然后用大量的去离子水清洗干净，烘干后就可以用了。硅片一定要烘干，要不然也会脱落的。在用之前要放冷至室温。  ...

非常感谢！我再去试试看！
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26楼2014-02-19 17:00:43
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