10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

12楼: Originally posted by 笨圈圈77 at 2013-12-12 15:10:18
曝光问题我已经试过了。从16S一直到200多S我都用过了。不是这个原因。曝光度也测了。不是这个原因。我看一些文献怀疑过这个问题。但是同样的厚度，小面积的就不掉，只有大面积的会掉的很严重。...

16楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 21:24:18
是一次性曝光还是分步来曝光的呢，一次性的话也容易出现脱落现象的呢...

15楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-12 19:40:54
不好意思，刚才没看到后面的答案就回复了。楼主检查过用的硅片的质量了吗？我用过同样的参数，不同的两批硅片，结果一种做的很好，一种就是前烘完就起气泡。

17楼: Originally posted by zhanjiang at 2013-12-12 21:33:30
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。
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