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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助SU-8为什么大面积脱落
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

我已经调整曝光时间了。大的小的都试过了。从十几秒一直到200多秒。也测了能量，算了曝光时间，不是曝光的问题。。。。。
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11楼2013-12-12 13:41:05
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

曝光问题我已经试过了。从16S一直到200多S我都用过了。不是这个原因。曝光度也测了。不是这个原因。我看一些文献怀疑过这个问题。但是同样的厚度，小面积的就不掉，只有大面积的会掉的很严重。
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12楼2013-12-12 14:10:18
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

楼主还是试试HDMS这类增粘剂吧
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13楼2013-12-12 18:24:29
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superhamlet

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我倒觉得可能是曝光时间不足。导致这种后胶上宽下窄，底部出现“根切”，显影时容易脱落。我也做过很长时间的SU8，遇到过很多问题。
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14楼2013-12-12 19:35:45
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superhamlet

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好意思，刚才没看到后面的答案就回复了。楼主检查过用的硅片的质量了吗？我用过同样的参数，不同的两批硅片，结果一种做的很好，一种就是前烘完就起气泡。
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15楼2013-12-12 19:40:54
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c_kDr

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 笨圈圈77 at 2013-12-12 15:10:18
曝光问题我已经试过了。从16S一直到200多S我都用过了。不是这个原因。曝光度也测了。不是这个原因。我看一些文献怀疑过这个问题。但是同样的厚度，小面积的就不掉，只有大面积的会掉的很严重。...

是一次性曝光还是分步来曝光的呢，一次性的话也容易出现脱落现象的呢
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16楼2013-12-12 21:24:18
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zhanjiang

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。

[ 发自小木虫客户端 ]
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17楼2013-12-12 21:33:30
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
16楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 21:24:18
是一次性曝光还是分步来曝光的呢，一次性的话也容易出现脱落现象的呢...

一次曝光和分步曝光都试过了。。。。还是这样。我这个实验做了好久了。。。。。
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18楼2013-12-15 15:09:25
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-12 19:40:54
不好意思，刚才没看到后面的答案就回复了。楼主检查过用的硅片的质量了吗？我用过同样的参数，不同的两批硅片，结果一种做的很好，一种就是前烘完就起气泡。

您说的硅片质量是什么意思？我只买过一家的硅片。那东西不便宜，就我自己用，一盒25片。。。经费没那么充裕啊！
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19楼2013-12-15 15:12:28
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lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by zhanjiang at 2013-12-12 21:33:30
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。
...

您好！请问双氧水加浓硫酸是陪在一起用还是分开用啊。如果是一起用的话是怎么样的配比啊？跪谢！
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20楼2014-02-09 15:24:52
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