应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助SU-8为什么大面积脱落
282/3返回列表上一页123下一页
查看: 3460  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

我已经调整曝光时间了。大的小的都试过了。从十几秒一直到200多秒。也测了能量，算了曝光时间，不是曝光的问题。。。。。
赞一下 回复此楼
11楼2013-12-12 13:41:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 08:34:01
是不是过度曝光的问题，过度曝光胶会出现分页现象从而脱落，而且曝光时间和强度也依赖于底层结构，如果在介质物表面铺胶应该适当增加曝光时间，如果在金属表面铺胶则应该适当缩短曝光时间。

曝光问题我已经试过了。从16S一直到200多S我都用过了。不是这个原因。曝光度也测了。不是这个原因。我看一些文献怀疑过这个问题。但是同样的厚度，小面积的就不掉，只有大面积的会掉的很严重。
赞一下 回复此楼
12楼2013-12-12 14:10:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

楼主还是试试HDMS这类增粘剂吧
赞一下 回复此楼
13楼2013-12-12 18:24:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我倒觉得可能是曝光时间不足。导致这种后胶上宽下窄，底部出现“根切”，显影时容易脱落。我也做过很长时间的SU8，遇到过很多问题。
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2013-12-12 19:35:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好意思，刚才没看到后面的答案就回复了。楼主检查过用的硅片的质量了吗？我用过同样的参数，不同的两批硅片，结果一种做的很好，一种就是前烘完就起气泡。
赞一下(1人) 回复此楼
15楼2013-12-12 19:40:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

c_kDr

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 笨圈圈77 at 2013-12-12 15:10:18
曝光问题我已经试过了。从16S一直到200多S我都用过了。不是这个原因。曝光度也测了。不是这个原因。我看一些文献怀疑过这个问题。但是同样的厚度，小面积的就不掉，只有大面积的会掉的很严重。...

是一次性曝光还是分步来曝光的呢，一次性的话也容易出现脱落现象的呢
赞一下(1人) 回复此楼
16楼2013-12-12 21:24:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhanjiang

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
17楼2013-12-12 21:33:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
16楼: Originally posted by c_kDr at 2013-12-12 21:24:18
是一次性曝光还是分步来曝光的呢，一次性的话也容易出现脱落现象的呢...

一次曝光和分步曝光都试过了。。。。还是这样。我这个实验做了好久了。。。。。
赞一下 回复此楼
18楼2013-12-15 15:09:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by superhamlet at 2013-12-12 19:40:54
不好意思，刚才没看到后面的答案就回复了。楼主检查过用的硅片的质量了吗？我用过同样的参数，不同的两批硅片，结果一种做的很好，一种就是前烘完就起气泡。

您说的硅片质量是什么意思？我只买过一家的硅片。那东西不便宜，就我自己用，一盒25片。。。经费没那么充裕啊！
赞一下 回复此楼
19楼2013-12-15 15:12:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijianan411

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by zhanjiang at 2013-12-12 21:33:30
Su8胶不能用Hdms增粘，说明书里应该提到了。其实大面积脱落主要是基底清洗的问题，或者是没有烘干，或者是曝光时间的问题。我原来也遇到过，你用双氧水加浓硫酸这种方法清洗，基底要完全烘干并冷却后才能匀胶。
...

您好！请问双氧水加浓硫酸是陪在一起用还是分开用啊。如果是一起用的话是怎么样的配比啊？跪谢！
赞一下 回复此楼
20楼2014-02-09 15:24:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 笨圈圈77 的主题更新
282/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 7lpolszZVXgi 2026-08-14 8/400 2026-08-15 11:53 by KxMI1BYBxWX1
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 11:41 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +6 Ldrop2023 2026-08-13 6/300 2026-08-15 10:09 by tuanggou
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 07:09 by 4wMiSEwB6436
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:45 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +11 Tide man 2026-08-10 12/600 2026-08-15 02:12 by home3163
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 00:16 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭