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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 陶瓷靶变黑
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王建春198728

金虫 (小有名气)

[求助] 陶瓷靶变黑 已有2人参与

在射频溅射完，白色的氧化物陶瓷靶材变黑了，是靶材的致密度不高，还是我溅射时氧气少呢？小弟特郁闷，这个靶材还能用吗？
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成功
1楼 2013-12-07 10:51:28
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无机化学小云

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不知道你用的什么靶材是白色的，一般白色的陶瓷靶材，像二氧化钛靶材，白色的属于低密度的，灰黑色的才是高密度，如果是这种靶材，应该是密度问题。
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2楼2013-12-20 09:55:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

楼主的是什么材质的靶材？是不是回溅的颗粒沉积在靶材上使靶材变成黑色的？
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3楼2013-12-20 19:40:18
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王建春198728

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 无机化学小云 at 2013-12-20 09:55:07
不知道你用的什么靶材是白色的，一般白色的陶瓷靶材，像二氧化钛靶材，白色的属于低密度的，灰黑色的才是高密度，如果是这种靶材，应该是密度问题。

我用的是二氧化钛靶材，压的靶材特硬，致密度应该挺高。溅射完表面有黑色的条文，而且溅射出来的薄膜厚度只有10纳米左右，时间1小时，功率150W，射频溅射.不知道啥原因？是因为二氧化钛本身的产额低吗？
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成功
4楼2013-12-26 10:26:10
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王建春198728

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-20 19:40:18
楼主的是什么材质的靶材？是不是回溅的颗粒沉积在靶材上使靶材变成黑色的？

二氧化钛靶材，靶材挺硬的，致密度也挺高。
而且射频溅射完薄膜非常薄只有10nm，用150W 1h 射频
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成功
5楼2013-12-26 10:28:16
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
5楼: Originally posted by 王建春198728 at 2013-12-26 10:28:16
二氧化钛靶材，靶材挺硬的，致密度也挺高。
而且射频溅射完薄膜非常薄只有10nm，用150W 1h 射频...

靶材挺硬的，致密度就一定足够高吗？未必吧。来有废靶吗？找个用阿基米德法测下密度吧。估计还是相对致密度不够高的缘故。毕竟是粉末冶金烧结的，一般也就96%左右吧，最好能到99%以上。
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6楼2013-12-26 10:40:11
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
楼主，您好！我也遇到同样的问题，但我的靶是MgF2（纯度99.99%）,150W，20nm，2h~2.5h，不但靶变黑了，溅射出来的薄膜也是黑色的，用测了能谱，发现其中Mg和F的摩尔比接近4:1。不知道楼主找到靶变黑的原因了吗？求指教！
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7楼2013-12-26 16:17:08
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王建春198728

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-12-26 16:17:08
楼主，您好！我也遇到同样的问题，但我的靶是MgF2（纯度99.99%）,150W，20nm，2h~2.5h，不但靶变黑了，溅射出来的薄膜也是黑色的，用测了能谱，发现其中Mg和F的摩尔比接近4:1。不知道楼主找到靶变黑的原因了吗？求指 ...

还没有找到具体的原因，正在摸索其它的条件
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8楼2014-01-01 21:01:23
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