24小时热门版块排行榜    

查看: 1419  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

王建春198728

金虫 (小有名气)

[求助] 陶瓷靶变黑 已有2人参与

在射频溅射完,白色的氧化物陶瓷靶材变黑了,是靶材的致密度不高,还是我溅射时氧气少呢?小弟特郁闷,这个靶材还能用吗?
回复此楼
成功
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王建春198728

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-20 19:40:18
楼主的是什么材质的靶材?是不是回溅的颗粒沉积在靶材上使靶材变成黑色的?

二氧化钛靶材,靶材挺硬的,致密度也挺高。
而且射频溅射完薄膜非常薄只有10nm,用150W 1h 射频
成功
5楼2013-12-26 10:28:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

无机化学小云

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

不知道你用的什么靶材是白色的,一般白色的陶瓷靶材,像二氧化钛靶材,白色的属于低密度的,灰黑色的才是高密度,如果是这种靶材,应该是密度问题。
2楼2013-12-20 09:55:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

楼主的是什么材质的靶材?是不是回溅的颗粒沉积在靶材上使靶材变成黑色的?
3楼2013-12-20 19:40:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王建春198728

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 无机化学小云 at 2013-12-20 09:55:07
不知道你用的什么靶材是白色的,一般白色的陶瓷靶材,像二氧化钛靶材,白色的属于低密度的,灰黑色的才是高密度,如果是这种靶材,应该是密度问题。

我用的是二氧化钛靶材,压的靶材特硬,致密度应该挺高。溅射完表面有黑色的条文,而且溅射出来的薄膜厚度只有10纳米左右,时间1小时,功率150W,射频溅射.不知道啥原因?是因为二氧化钛本身的产额低吗?
成功
4楼2013-12-26 10:26:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 07化学280分求调剂 +6 722865 2026-03-23 6/300 2026-03-24 20:58 by allen-yin
[考研] 0854AI CV方向招收调剂 +3 章小鱼567 2026-03-23 3/150 2026-03-24 20:25 by 汪!?!
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +7 holy J 2026-03-21 7/350 2026-03-24 17:24 by xiaohai104
[考研] 一志愿吉大化学322求调剂 +4 17501029541 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:21 by 戴围脖的小蚊子
[考研] 0703化学求调剂 +4 奶油草莓. 2026-03-22 5/250 2026-03-23 19:37 by pswait
[考研] 一志愿陕师大生物学071000,298分,求调剂 +3 SYA! 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:09 by macy2011
[考研] 石河子大学(211、双一流)硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
[考研] 一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂 +11 枫桥ZL 2026-03-18 13/650 2026-03-22 20:26 by edmund7
[考研] 287求调剂 +8 晨昏线与星海 2026-03-19 9/450 2026-03-22 17:01 by i_cooler
[考研] 一志愿 西北大学 ,070300化学学硕,总分287,双非一本,求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-20 3/150 2026-03-22 16:00 by ColorlessPI
[考研] 311求调剂 +3 26研0 2026-03-20 3/150 2026-03-22 14:46 by ColorlessPI
[考研] 303求调剂 +5 安忆灵 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:46 by 素颜倾城1988
[考研] 化学调剂 +5 yzysaa 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:12 by peike
[考研] 299求调剂 +5 shxchem 2026-03-20 7/350 2026-03-21 17:09 by ColorlessPI
[考研] 266求调剂 +3 哇呼哼呼哼 2026-03-20 3/150 2026-03-21 16:46 by barlinike
[考研] 296求调剂 +6 www_q 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:56 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +10 S.H1 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:51 by JourneyLucky
[考研] 261求B区调剂,科研经历丰富 +3 牛奶很忙 2026-03-20 4/200 2026-03-20 19:34 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 12/600 2026-03-20 12:25 by lidianxing
信息提示
请填处理意见