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王建春198728

金虫 (小有名气)

[求助] 陶瓷靶变黑 已有2人参与

在射频溅射完,白色的氧化物陶瓷靶材变黑了,是靶材的致密度不高,还是我溅射时氧气少呢?小弟特郁闷,这个靶材还能用吗?
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

楼主,您好!我也遇到同样的问题,但我的靶是MgF2(纯度99.99%),150W,20nm,2h~2.5h,不但靶变黑了,溅射出来的薄膜也是黑色的,用测了能谱,发现其中Mg和F的摩尔比接近4:1。不知道楼主找到靶变黑的原因了吗?求指教!
7楼2013-12-26 16:17:08
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无机化学小云

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

不知道你用的什么靶材是白色的,一般白色的陶瓷靶材,像二氧化钛靶材,白色的属于低密度的,灰黑色的才是高密度,如果是这种靶材,应该是密度问题。
2楼2013-12-20 09:55:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

楼主的是什么材质的靶材?是不是回溅的颗粒沉积在靶材上使靶材变成黑色的?
3楼2013-12-20 19:40:18
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王建春198728

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 无机化学小云 at 2013-12-20 09:55:07
不知道你用的什么靶材是白色的,一般白色的陶瓷靶材,像二氧化钛靶材,白色的属于低密度的,灰黑色的才是高密度,如果是这种靶材,应该是密度问题。

我用的是二氧化钛靶材,压的靶材特硬,致密度应该挺高。溅射完表面有黑色的条文,而且溅射出来的薄膜厚度只有10纳米左右,时间1小时,功率150W,射频溅射.不知道啥原因?是因为二氧化钛本身的产额低吗?
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4楼2013-12-26 10:26:10
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