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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

[交流] 【求助】硅片如何切割?(用作CVD法制备纳米材料的基底)

CVD法制备纳米材料,需要沉积在硅片上。各位虫虫有什么好方法把大的硅片切割整齐,分成小块?

[ Last edited by caosw2001 on 2008-7-8 at 16:25 ]
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Inner peace.
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Solar84

金虫 (小有名气)

我们实验室是用激光划片机在硅片上划一道浅痕,然后用手把硅片掰开的。
如果有碎末的话,我觉得可以用丙酮、乙醇和纯净水超声清洗一下。
Our trouble is not ignorance but in action!
5楼2007-12-30 21:38:44
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查看全部 22 个回答

leojackson

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助,欢迎常来纳米版!
硅片一般都是片层结构,所以切割起来非常的困难,我们这边一般都是直接掰碎,但是效果不好,硅片的表面上会附着很多细小的碎末,二楼的方法也试过,不过解决不了碎末的问题。后来我尝试用双氧水+浓硫酸(体积比1:1)浸泡,超声1个小时左右,超纯水洗净,然后用高纯氮吹干,发现可以清洗掉大部分碎末。楼主可以试验一下。

还有,楼主可以考虑一下云母片,用完一层揭掉即可,也比较方便。

希望对你有帮助。

[ Last edited by leojackson on 2007-12-27 at 10:46 ]
To be or not to be, that's the question......
2楼2007-12-26 19:06:23
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jiaxi19830815

新虫 (初入文坛)


jackchen145(金币+1,VIP+0):谢谢应助,欢迎常来纳米版!
用金刚刀切成所需的小块,然后用去离子水+双氧水+浓硫酸(体积比5:1:1)超声10分,再用丙酮超声10,无水乙醇超声10
3楼2007-12-26 19:18:30
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jiafalong

铁虫 (小有名气)

一个非常适用的方法:注意买来的硅片上有个缺口,用玻璃刀划硅片的时候方向一定要和这个缺口的方向平行或者垂直!然后轻划一下(不要来回划,一次就够了),轻轻一掰硅片就分开了。我曾经划出过宽度3mm的长硅片。这是我问一家半导体公司的人得到的,以前划硅片很费劲还切不好,后来用这个方法很管用。只是原理不是很清楚。
4楼2007-12-30 20:34:06
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