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zhanglexi铁杆木虫 (著名写手)
小木虫路过之王
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[交流]
【求助】硅片如何切割？（用作ＣＶＤ法制备纳米材料的基底）
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ＣＶＤ法制备纳米材料，需要沉积在硅片上。各位虫虫有什么好方法把大的硅片切割整齐，分成小块？ [ Last edited by caosw2001 on 2008-7-8 at 16:25 ] |
回复此楼
10楼2008-01-11 19:11:55
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jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来纳米版！
jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来纳米版！
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硅片一般都是片层结构，所以切割起来非常的困难，我们这边一般都是直接掰碎，但是效果不好，硅片的表面上会附着很多细小的碎末，二楼的方法也试过，不过解决不了碎末的问题。后来我尝试用双氧水+浓硫酸（体积比1：1）浸泡，超声1个小时左右，超纯水洗净，然后用高纯氮吹干，发现可以清洗掉大部分碎末。楼主可以试验一下。 还有，楼主可以考虑一下云母片，用完一层揭掉即可，也比较方便。 希望对你有帮助。  [ Last edited by leojackson on 2007-12-27 at 10:46 ] |
2楼2007-12-26 19:06:23
jiaxi19830815
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3楼2007-12-26 19:18:30
4楼2007-12-30 20:34:06
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