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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

估计是氮气和靶材发生了反应生成了氮化物，而该氮化物和镀膜材料（玻璃）的润湿性能不好所致。
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11楼2013-12-08 00:24:59
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hyx8902

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 861960469 at 2013-12-07 20:51:41
应该能镀，楼主要镀什么膜？

我镀的是InGaN膜，用的InGa合金靶
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12楼2013-12-09 10:16:25
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hyx8902

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-07 23:30:21
美错，
楼主要注意
也许反应物敷在靶表面，如果是绝缘体，速率就会很低甚至没有啊。...

但是以前师兄们做的时候从来没有过这种情况！
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13楼2013-12-09 10:17:03
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-09 11:17:03
但是以前师兄们做的时候从来没有过这种情况！...

楼主是用DC么？
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14楼2013-12-09 11:49:03
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hyx8902

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-09 11:49:03
楼主是用DC么？...

不是，射频
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15楼2013-12-09 19:43:23
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
15楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-09 20:43:23
不是，射频

哦，
有可能你起弧的地方不在靶面上，这个可能和靶的放置以及电极的设计有关

你可以用DC试试，
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16楼2013-12-09 20:38:01
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

掺氮薄膜都是这么做的，
首先你长得什么金属，长完之后还导不导电。
我做氮化钛，氮也就百分之几，功率和你差不多。
如果是BN，就比较难长了。
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喵了个咪的~
17楼2013-12-12 21:50:33
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wangxj87

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

氮气和氩气的流量比会有影响
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18楼2013-12-18 09:18:41
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匿名

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19楼2014-03-27 09:26:17
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