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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

估计是氮气和靶材发生了反应生成了氮化物,而该氮化物和镀膜材料(玻璃)的润湿性能不好所致。
11楼2013-12-08 00:24:59
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hyx8902

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 861960469 at 2013-12-07 20:51:41
应该能镀,楼主要镀什么膜?

我镀的是InGaN膜,用的InGa合金靶
12楼2013-12-09 10:16:25
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hyx8902

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-07 23:30:21
美错,
楼主要注意
也许反应物敷在靶表面,如果是绝缘体,速率就会很低甚至没有啊。...

但是以前师兄们做的时候从来没有过这种情况!
13楼2013-12-09 10:17:03
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
13楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-09 11:17:03
但是以前师兄们做的时候从来没有过这种情况!...

楼主是用DC么?
14楼2013-12-09 11:49:03
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hyx8902

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-09 11:49:03
楼主是用DC么?...

不是,射频
15楼2013-12-09 19:43:23
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
15楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-09 20:43:23
不是,射频

哦,
有可能你起弧的地方不在靶面上,这个可能和靶的放置以及电极的设计有关

你可以用DC试试,
16楼2013-12-09 20:38:01
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

掺氮薄膜都是这么做的,
首先你长得什么金属,长完之后还导不导电。
我做氮化钛,氮也就百分之几,功率和你差不多。
如果是BN,就比较难长了。
喵了个咪的~
17楼2013-12-12 21:50:33
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wangxj87

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

氮气和氩气的流量比会有影响
18楼2013-12-18 09:18:41
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
19楼2014-03-27 09:26:17
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