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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜,加一点儿氮气就镀不上是怎么回事? 已有3人参与

金属靶镀膜,充氩气的话可以镀膜,起辉正常,但是加一点儿氮气就镀不上是怎么回事?功率已经加到160W,再加怕把靶烧坏了!求大神帮忙!
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
15楼: Originally posted by hyx8902 at 2013-12-09 20:43:23
不是,射频

哦,
有可能你起弧的地方不在靶面上,这个可能和靶的放置以及电极的设计有关

你可以用DC试试,
16楼2013-12-09 20:38:01
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查看全部 19 个回答

mjx150

荣誉版主 (正式写手)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:10
氮气不是惰性气体,会有反应的
Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
2楼2013-12-04 16:34:30
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669829liu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:15
应该能镀上呀,只不过是含氮的薄膜而已

[ 发自小木虫客户端 ]
软磁性薄膜
3楼2013-12-05 00:07:39
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:20
什么靶啊?会不会功率有些小啊?
我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你,说明我很在乎你。如果我不能主动联系你,那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
4楼2013-12-05 02:34:12
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