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汕头大学海洋科学接受调剂
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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 只充氩气的话可以镀膜,加一点儿氮气就镀不上是怎么回事? 已有3人参与

金属靶镀膜,充氩气的话可以镀膜,起辉正常,但是加一点儿氮气就镀不上是怎么回事?功率已经加到160W,再加怕把靶烧坏了!求大神帮忙!
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swxby

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

掺氮薄膜都是这么做的,
首先你长得什么金属,长完之后还导不导电。
我做氮化钛,氮也就百分之几,功率和你差不多。
如果是BN,就比较难长了。
喵了个咪的~
17楼2013-12-12 21:50:33
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查看全部 19 个回答

mjx150

荣誉版主 (正式写手)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:10
氮气不是惰性气体,会有反应的
Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
2楼2013-12-04 16:34:30
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669829liu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:15
应该能镀上呀,只不过是含氮的薄膜而已

[ 发自小木虫客户端 ]
软磁性薄膜
3楼2013-12-05 00:07:39
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-06 12:30:20
什么靶啊?会不会功率有些小啊?
我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你,说明我很在乎你。如果我不能主动联系你,那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
4楼2013-12-05 02:34:12
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