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lqqisanswer银虫 (小有名气)
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请大家帮忙解决一个问题：我是做OLED的，最近蒸镀设备出现了问题
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请大家帮忙解决一个问题：我是做OLED的，最近蒸镀设备出现了问题，清洗腔室后做器件启亮很高，我们的器件结构：ITO/MoO3/NPB/Alq3/LiF/Al 。可能有哪些原因？谢谢大家！ 详细情况如下：清洗腔室后（用丙酮和乙醇擦洗），我们表征了下膜厚和清洗之前比较发现差别并不大，但做标准器件时启亮偏高3.4V（比平时要高点），后来又做了一次（换了新买的氧化钼）启亮变为4V，我们怀疑氧化钼又问题就跟别的课题组借了他们的MoO3做器件启亮还是高4V，之后我们又重新清洗了一次腔室做启亮还是很高，且后面越做越高。请问可能是什么问题？ |
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