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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » PVD镀膜（镀Ti）中固定靶材的螺丝
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772954170

木虫 (小有名气)

[求助] PVD镀膜（镀Ti）中固定靶材的螺丝 已有1人参与

我们这边现在用的是镀Ti层（磁控溅射），固定靶材的螺丝材质是Ti，但是换靶材和保养得时候Ti螺丝经常扭断在里面取不出来，能不能用不锈钢的螺丝？或者是别的螺丝？请求大神支招！
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1楼 2013-12-03 19:59:36
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匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
772954170: 金币+8, ★★★★★最佳答案 2013-12-22 22:43:01
本帖仅楼主可见
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2楼2013-12-05 09:05:21
已阅   申请物理EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

772954170

木虫 (小有名气)
leongoall: 你觉得磁控溅射能达到让不锈钢熔解的温度？！再说了，我不清楚你们的结构是啥样的，但固定靶材的螺丝一般都是镶嵌在边缘而且外面还有个靶罩的啊，等离子体是根本不会打到螺丝上啊，用什么材料也不影响溅射的薄膜吧？！ 2013-12-06 05:27:42
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-12-05 09:05:21
可以用铁的或钢的    等离子体打不上就可以了

应为是磁控溅射，铁的不行，只能用316的锈钢。但是这个熔点比Ti低一百多。
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3楼2013-12-05 23:13:28
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jimmy409

禁虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
772954170(sweety代发): 金币+5, 鼓励应助 2013-12-19 13:09:40
本帖内容被屏蔽
4楼2013-12-16 12:40:34
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772954170

木虫 (小有名气)
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5楼2013-12-18 22:46:42
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无机化学小云

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不锈钢的可以。Fe的也行。我们都是用不锈钢或者Fe的，都可以。出口到南洋理工的全是这种。应该没有什么问题。
沐川靶材
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6楼2013-12-20 09:50:36
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将
从来没有因为镀钛使用钛的螺钉，靶材边缘周围会有一个金属圈挡住，再把金属圈固定，普通的螺丝钉也不用担心被溅射的引入杂质的问题
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人生没有捷径
7楼2014-04-20 10:51:55
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
为什么非要用Ti呢，磁控溅射靶的设计一般都不会溅射到靶材以外的地方的
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
8楼2014-08-24 21:25:07
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metaliium

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 772954170 at 2013-12-05 23:13:28
应为是磁控溅射，铁的不行，只能用316的锈钢。但是这个熔点比Ti低一百多。...

磁控溅射虽然也不能避免有加热，总的来说还是个冷的过程，熔点是肯定达不到的。。。= =
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9楼2014-08-25 01:14:51
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