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772954170

木虫 (小有名气)

[求助] PVD镀膜(镀Ti)中固定靶材的螺丝 已有1人参与

我们这边现在用的是镀Ti层(磁控溅射),固定靶材的螺丝材质是Ti,但是换靶材和保养得时候Ti螺丝经常扭断在里面取不出来,能不能用不锈钢的螺丝?或者是别的螺丝?请求大神支招!
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

为什么非要用Ti呢,磁控溅射靶的设计一般都不会溅射到靶材以外的地方的
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
8楼2014-08-24 21:25:07
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查看全部 9 个回答

匿名

用户注销 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
772954170: 金币+8, ★★★★★最佳答案 2013-12-22 22:43:01
本帖仅楼主可见
2楼2013-12-05 09:05:21
已阅   申请物理EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

772954170

木虫 (小有名气)

leongoall: 你觉得磁控溅射能达到让不锈钢熔解的温度?!再说了,我不清楚你们的结构是啥样的,但固定靶材的螺丝一般都是镶嵌在边缘而且外面还有个靶罩的啊,等离子体是根本不会打到螺丝上啊,用什么材料也不影响溅射的薄膜吧?! 2013-12-06 05:27:42
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2013-12-05 09:05:21
可以用铁的或钢的    等离子体打不上就可以了

应为是磁控溅射,铁的不行,只能用316的锈钢。但是这个熔点比Ti低一百多。
3楼2013-12-05 23:13:28
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jimmy409

禁虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★
772954170(sweety代发): 金币+5, 鼓励应助 2013-12-19 13:09:40
本帖内容被屏蔽

4楼2013-12-16 12:40:34
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