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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 想把外延生长出的纳米线做成MOSFET，求助MOSFET制造公司
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leeering

新虫 (初入文坛)

[交流] 想把外延生长出的纳米线做成MOSFET，求助MOSFET制造公司 已有2人参与

如题，想把生长出的纳米线做成MOS晶体管器件，苦于没有找到合适的制造公司，由于我本人在广东，所以请大侠们帮帮忙，推荐些广东省内比较适合的公司！谢谢了！
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1楼 2013-11-25 16:28:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
找公司是不可能的。你这种活儿，大小公司都嫌麻烦，也不会做。
而对于研究单位，一个注入工艺就把绝大部分挡在门外了。
你这种活儿，没有大几十万是没有人愿意尝试的。
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2楼2013-11-26 13:21:50
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leeering

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-26 13:21:50
找公司是不可能的。你这种活儿，大小公司都嫌麻烦，也不会做。
而对于研究单位，一个注入工艺就把绝大部分挡在门外了。
你这种活儿，没有大几十万是没有人愿意尝试的。

嗯 ，您说的对，我联系了好几家公司也都不愿意做。。。
那再请教下您，
如果找科研单位的话，您说的注入工艺具体是指做电极接触的时候吗？如果不做注入，镀完电极金属退火的话，电极接触能不能达到器件的基本电学要求呢？
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3楼2013-11-26 15:24:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by leeering at 2013-11-26 15:24:16
嗯 ，您说的对，我联系了好几家公司也都不愿意做。。。
那再请教下您，
如果找科研单位的话，您说的注入工艺具体是指做电极接触的时候吗？如果不做注入，镀完电极金属退火的话，电极接触能不能达到器件的基本电学 ...

纳米线部分的欧姆接触是最大的问题。因为源漏都是用金属来做，Gate用Si做。有些纳米线的欧姆接触有些真心不好做，有些是要做注入的，要看纳米线材料是啥。所以注入很多时候是最大的障碍。
至于其它部分，我倒是有一套工艺，还算好处理，哪怕是撒到硅片上的纳米线，也能搞定。虽然很费人工，但是效果还好。就是注入太麻烦了，不仅仅是跑来跑去加工几趟的问题，而是对工艺的影响太大，工艺流程受限制很多。就算有地方注入，也不是说一次就能搞定的，大家用的材料不同，注入的材料，参数，退火的条件，都会不同，要试的，很烦。
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4楼2013-11-26 16:02:15
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spinwave

木虫 (正式写手)
苏州纳米所，试试
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come on
5楼2013-11-27 09:47:58
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leeering

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-26 16:02:15
纳米线部分的欧姆接触是最大的问题。因为源漏都是用金属来做，Gate用Si做。有些纳米线的欧姆接触有些真心不好做，有些是要做注入的，要看纳米线材料是啥。所以注入很多时候是最大的障碍。
至于其它部分，我倒是有 ...

做器件的确不好做，好多东西都得仔细摸索。。。
谢谢大神！受教了！
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6楼2013-11-27 18:58:20
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leeering

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by spinwave at 2013-11-27 09:47:58
苏州纳米所，试试

好的，我联系试试看，谢谢啦！
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7楼2013-11-27 18:59:33
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