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想把外延生长出的纳米线做成MOSFET,求助MOSFET制造公司
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leeering
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[交流]
想把外延生长出的纳米线做成MOSFET,求助MOSFET制造公司
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如题,想把生长出的纳米线做成MOS晶体管器件,苦于没有找到合适的制造公司,由于我本人在广东,所以请大侠们帮帮忙,推荐些广东省内比较适合的公司!谢谢了!
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1楼
2013-11-25 16:28:08
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leeering
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5楼
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Originally posted by
spinwave
at 2013-11-27 09:47:58
苏州纳米所,试试
好的,我联系试试看,谢谢啦!
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7楼
2013-11-27 18:59:33
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找公司是不可能的。你这种活儿,大小公司都嫌麻烦,也不会做。
而对于研究单位,一个注入工艺就把绝大部分挡在门外了。
你这种活儿,没有大几十万是没有人愿意尝试的。
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2楼
2013-11-26 13:21:50
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leeering
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2楼
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Originally posted by
yswyx
at 2013-11-26 13:21:50
找公司是不可能的。你这种活儿,大小公司都嫌麻烦,也不会做。
而对于研究单位,一个注入工艺就把绝大部分挡在门外了。
你这种活儿,没有大几十万是没有人愿意尝试的。
嗯 ,您说的对,我联系了好几家公司也都不愿意做。。。
那再请教下您,
如果找科研单位的话,您说的注入工艺具体是指做电极接触的时候吗?如果不做注入,镀完电极金属退火的话,电极接触能不能达到器件的基本电学要求呢?
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3楼
2013-11-26 15:24:16
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3楼
:
Originally posted by
leeering
at 2013-11-26 15:24:16
嗯 ,您说的对,我联系了好几家公司也都不愿意做。。。
那再请教下您,
如果找科研单位的话,您说的注入工艺具体是指做电极接触的时候吗?如果不做注入,镀完电极金属退火的话,电极接触能不能达到器件的基本电学 ...
纳米线部分的欧姆接触是最大的问题。因为源漏都是用金属来做,Gate用Si做。有些纳米线的欧姆接触有些真心不好做,有些是要做注入的,要看纳米线材料是啥。所以注入很多时候是最大的障碍。
至于其它部分,我倒是有一套工艺,还算好处理,哪怕是撒到硅片上的纳米线,也能搞定。虽然很费人工,但是效果还好。就是注入太麻烦了,不仅仅是跑来跑去加工几趟的问题,而是对工艺的影响太大,工艺流程受限制很多。就算有地方注入,也不是说一次就能搞定的,大家用的材料不同,注入的材料,参数,退火的条件,都会不同,要试的,很烦。
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4楼
2013-11-26 16:02:15
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