24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 3688  |  回复: 22
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] AFM扫出来的结果和SEM不一致

不知为何同一个样品AFM扫出来的结果和SEM不一致,SEM中是那种比较大的片,AFM中却基本找不到同样长径比的片,只能得到较小的片,具体见图。另外AFM出的图会有很多大的颗粒。不知道是不是我制样的方式不对,我是把样品分散在乙醇中,超声一段时间后,把洗干净的硅片浸入溶液中几秒。
求小木虫各位大神给小弟指点迷津,不甚感激!
AFM扫出来的结果和SEM不一致
图片2.png


AFM扫出来的结果和SEM不一致-1
图片1.png
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
天外飞鱼: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-11-26 23:21:50
在你做的这个尺度上,让AFM和SEM观察同一个区域也不是不可能的。
在SEM观察时,在这个地方拍一系列不同倍数的照片,并在最小的放大倍数下(几十或上百倍),这样就可能做出一个“藏宝图”,标出SEM照片对应的位置。然后在AFM下先用光学显微镜根据“藏宝图”去找这个位置下针尖,就能实现对同一个位置的AFM观察。

在做AFM时,用Tapping模式,试着调一下驱动力,也许加大一些力才能看见SEM看到的长片,因为SEM看到的很可能是较深层的形貌。

同时,建议重做一次SEM,用5kV甚至更低的加速电压,比较一下样品表层和深层的形貌。如果SEM低电压看到小片,高电压看到长片;同时AFM轻力看到是小片,重力看到的是长片那么就印证了上面的猜测。之后要做的就是进一步分散,避免堆积,让小片和长片都单独摆着,其实也必须是单独铺在基板上,AFM测出的厚度才较准确。
12楼2013-11-25 18:46:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 23 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 11:00:24
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别
2楼2013-11-24 14:59:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-11-24 14:59:35
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别

感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢
3楼2013-11-25 11:00:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 13:03:20
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天外飞鱼 at 2013-11-25 11:00:13
感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢...

呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片,在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。
4楼2013-11-25 12:11:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见