24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 2498  |  回复: 16
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

maximus1214

银虫 (初入文坛)

[求助] EBL显影之后做了SEM发现问题

我在EBL(PMMA A4)显影之后,做了一下SEM,看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在,但是以图形为中心,出现一个矩形框把图形包围起来,矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样,求大神解释一下,这是为什么?谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

那是你过曝光的结果。由于临近效应中的背散射,使得应该曝光的图形之外较大的区域也有来自衬底的背散射,在过曝光的条件下,这些剂量足以使得光刻胶受到部分曝光和显影。但是,这样的现象在快速的化学放大胶上很常见,在迟钝的PMMA上较少见。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
13楼2014-01-16 22:13:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 maximus1214 的主题更新
信息提示
请填处理意见