24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2653  |  回复: 16
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

maximus1214

银虫 (初入文坛)

[求助] EBL显影之后做了SEM发现问题

我在EBL(PMMA A4)显影之后,做了一下SEM,看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在,但是以图形为中心,出现一个矩形框把图形包围起来,矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样,求大神解释一下,这是为什么?谢谢!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

那是你过曝光的结果。由于临近效应中的背散射,使得应该曝光的图形之外较大的区域也有来自衬底的背散射,在过曝光的条件下,这些剂量足以使得光刻胶受到部分曝光和显影。但是,这样的现象在快速的化学放大胶上很常见,在迟钝的PMMA上较少见。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
13楼2014-01-16 22:13:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
maximus1214(supernatural代发): 金币+5, 楼主本想给5楼5金币,5楼既是3楼,因此代发金币5个 2013-11-24 09:24:15
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍,矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。
3楼2013-11-22 11:43:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maximus1214

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:43:14
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍,矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。

这个我知道,关键是我显过影了,而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-11-22 14:13:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-22 14:13:27
这个我知道,关键是我显过影了,而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊
...

你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。
5楼2013-11-22 15:38:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 数一英一271专硕(085401)求调剂,可跨 +7 前行必有光 2026-03-28 8/400 2026-03-28 23:22 by 小木虫tim
[考研] 295求调剂 +4 wei-5 2026-03-26 4/200 2026-03-28 23:20 by 小木虫tim
[考研] 求调剂 +6 芦lty 2026-03-25 7/350 2026-03-28 13:13 by 唐沐儿
[考研] 085701环境工程,267求调剂 +16 minht 2026-03-26 16/800 2026-03-28 12:16 by zllcz
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +7 hanamiko 2026-03-27 7/350 2026-03-28 09:56 by 李上岸0921
[考研] 材料与化工考研调剂 +17 孅華 2026-03-22 17/850 2026-03-28 08:35 by WYUMater
[考研] 085600材料与化工调剂 +10 A-哆啦Z梦 2026-03-23 16/800 2026-03-27 15:13 by caszguilin
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 085600,材料与化工321分调剂 +4 大馋小子 2026-03-27 6/300 2026-03-27 14:11 by 松花缸1201
[考研] 305求调剂 +5 哇卢卡库 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:01 by laoshidan
[考研] 298调剂 +3 jiyingjie123 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 317求调剂 +7 蛋黄咸肉粽 2026-03-26 7/350 2026-03-27 02:29 by fmesaito
[考研] 351求调剂 +4 麦克阿磊 2026-03-24 4/200 2026-03-27 00:32 by wxiongid
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +5 星沉uu 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:02 by macy2011
[考研] 289求调剂 +17 硕星赴 2026-03-23 17/850 2026-03-26 16:18 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿河工大 081700 276求调剂 +4 地球绕着太阳转 2026-03-23 4/200 2026-03-26 14:27 by zzll406
[考研] 一志愿武理085500机械专业总分300求调剂 +3 an10101 2026-03-24 7/350 2026-03-25 00:00 by 山鬼0-
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 284求调剂 +3 yanzhixue111 2026-03-23 6/300 2026-03-23 22:58 by pswait
[考研] 材料/农业专业,07/08开头均可,过线就行 +3 呵唔哦豁 2026-03-23 4/200 2026-03-23 22:30 by 汪!?!
信息提示
请填处理意见