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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 台阶仪测试问题，急急急。
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lbb199086

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你这个厚度，台阶仪完全可以测的。有两个问题，一个就是样品本身的平整度如何？设备噪音如何？这个结果图很多见，你做的台阶仪不明显。可以通过软件选择区域（台阶处），软件自动调平。试试吧
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11楼2013-12-23 12:52:17
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

考虑下样品太小，薄膜生长的边缘效应导致上扬。台阶仪测试有效数据在台阶附近，可以考虑减小测量范围，降低z的范围，减慢扫描速度。
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
12楼2014-01-01 18:11:22
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

怎么做的台阶？这个厚度范围应该是可以测试的，用盖片方式做台阶得到的就是这样的结果，好比墙角的积雪效应。
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13楼2014-01-01 21:15:30
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王菲1987

铜虫 (初入文坛)
想问一下楼主最后问题咋解决的啊？我现在遇到同样问题。。
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14楼2014-06-25 18:48:15
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Magina_L

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 王菲1987 at 2014-06-25 18:48:15
想问一下楼主最后问题咋解决的啊？我现在遇到同样问题。。

薄膜太薄，基底不平。在不能确定基底长程都很平整的情况下，建议测试1-2mm就够了，厚度只看台阶部分
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15楼2014-09-11 17:06:32
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qq_zan

新虫 (初入文坛)
各位大哥们，
小妹现在在用一台D-100的台阶仪，有没有什么办法将测试出来的数据导入excel的！着急！拜托了！！
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16楼2014-12-03 15:37:00
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hansuiwu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by nanoptic at 2013-11-20 05:34:28
这说明台阶做得不好

左边的R和右边的M分别是什么意思啊  求赐教
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17楼2016-03-15 16:29:27
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hansuiwu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Magina_L at 2013-11-20 13:59:19
我考虑过你的想法，我确实拿未溅射薄膜的基底试过，也是扫过1000um之后曲线开始上扬。但是我试过很多位置，包括反向的，都是曲线上扬，所以我怀疑是否是台阶仪本身的问题，就是当扫的长度较长时就会出现这种情况。 ...

请你帮我看看这个粗糙度测试结果可以用吗？谢谢
台阶仪测试问题，急急急。
CrN-4A-1.JPG
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18楼2016-03-15 16:32:19
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丹and雷克

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
18楼: Originally posted by hansuiwu at 2016-03-15 16:32:19
请你帮我看看这个粗糙度测试结果可以用吗？谢谢

CrN-4A-1.JPG
...

你好，上图中R和M是什么意思？怎看粗糙度啊？求赐教啊
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19楼2019-07-01 19:47:07
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丹and雷克

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by hansuiwu at 2016-03-15 16:29:27
左边的R和右边的M分别是什么意思啊  求赐教...

同问，前辈你知道了吗
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20楼2019-07-01 19:47:33
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