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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 台阶仪测试问题，急急急。
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Magina_L

新虫 (初入文坛)

[求助] 台阶仪测试问题，急急急。 已有3人参与

小弟台阶仪测量膜厚过程中，发现前面一小段距离是平整的，后面测量直线开始倾斜。如图所示。本人一开始是怀疑基底本上不平的原因，但是将样品调转方向还是一样的结果。
台阶仪测试问题，急急急。
400tuihuohou.JPG


台阶仪测试问题，急急急。-1
Ptbiaomian.JPG
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1楼 2013-11-19 10:49:17
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hansuiwu

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Magina_L at 2013-11-20 13:59:19
我考虑过你的想法，我确实拿未溅射薄膜的基底试过，也是扫过1000um之后曲线开始上扬。但是我试过很多位置，包括反向的，都是曲线上扬，所以我怀疑是否是台阶仪本身的问题，就是当扫的长度较长时就会出现这种情况。 ...

请你帮我看看这个粗糙度测试结果可以用吗？谢谢
台阶仪测试问题，急急急。-2
CrN-4A-1.JPG
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18楼2016-03-15 16:32:19
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nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这说明台阶做得不好
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solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2013-11-20 05:34:28
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
横轴单位是什么？扫的范围太大？

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2013-11-20 07:17:32
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xiaotaoren

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。
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4楼2013-11-20 10:30:56
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