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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 台阶仪测试问题，急急急。
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Magina_L

新虫 (初入文坛)

[求助] 台阶仪测试问题，急急急。 已有3人参与

小弟台阶仪测量膜厚过程中，发现前面一小段距离是平整的，后面测量直线开始倾斜。如图所示。本人一开始是怀疑基底本上不平的原因，但是将样品调转方向还是一样的结果。
台阶仪测试问题，急急急。
400tuihuohou.JPG


台阶仪测试问题，急急急。-1
Ptbiaomian.JPG
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1楼 2013-11-19 10:49:17
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

考虑下样品太小，薄膜生长的边缘效应导致上扬。台阶仪测试有效数据在台阶附近，可以考虑减小测量范围，降低z的范围，减慢扫描速度。
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
12楼2014-01-01 18:11:22
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nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这说明台阶做得不好
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solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2013-11-20 05:34:28
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
横轴单位是什么？扫的范围太大？

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2013-11-20 07:17:32
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xiaotaoren

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。
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4楼2013-11-20 10:30:56
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